“我去现场看了一下,碎成了五块,还有不少碎渣……看起来是救不了了,即使救回来,我们也测不出光刻机的真实数据。”叶志华回答道。
的确如叶志华所说,晶圆是一种高脆晶体,一般在经过刚性屈折碎裂后,不仅是外观上会受损,就连晶体内部也可能出现不少裂纹和缺口。
雕刻在晶圆表面上的集成电路十分脆弱,一旦其底座晶圆出现问题,整个电路也会随之报废。
而王向中他们这次正好测的就是芯片良率……
“叶老,如果实在没办法的话,还是再流一次片吧,”王向中叹了一口气,“想尽办法在三月份之前,再做出一块来。”
“我也是这么想的,还好这次只是碎了一张晶圆,和掩膜没有关系。”叶志华苦笑道,“我试试吧,毕竟这次错在晶华,我再去要一份材料。”
挂掉电话,王向中也是面色不太好看。
这次掩膜板没事,就大概率说明此次事件仅仅是个意外,毕竟在一次流片中,成本最高的就是光掩膜,如果有人成心要搞破坏的话,应该对掩膜板下手才是。
见到王向中面色发青,龙云也是愣了一下,旋即问道:“中哥,没出什么事吧?”
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