该是一个梯形,针尖是50纳米宽的平面,也就是500个硅原子的宽度。”
王中军想了想,补充了一句:“之前我认为用针尖直接敲击材料,这个思路是不合适的。硅敲击硅,我们无法保证探针上的硅完整性,也就是说敲击的宽度是不可预测的。所以直接敲击材料不合适,我们还需要用探针去除光刻胶,最后通过蚀刻和离子注入来实现光栅。”
“那么我们现在需要解决的就是三个问题,敲击探针、定位探针,以及满足各向异性的蚀刻。”
“敲击探针……老钟,这个就由你来负责。技术上基于硅的特性,可以先尝试单晶硅生长法。”
“定位探针我来做,这个暂时还没有什么思路。”
“蚀刻和离子注入,我考虑采用干法刻蚀技术,相关的刻蚀机和PVD设备应用与改造……这个我们实验室无法单独完成,秦释你来与相关其他实验室进行对接。”
“咱们实验室分三组,一组跟老钟,一组跟我,秦释你暂时先带一个研究生去做协调工作。”
……
王中军临危不乱,实验室也就有了主心骨。虽然要跨越式发展技术必然会面临巨大的困难,但一想到这个科研项目背后的意义,所有人的内心中都充满了必须倾