不能满足需求，于是业界又把湿法蚀刻捡回来了。但那也是利用离子蚀刻机将化学腐蚀剂离子化之后，在PECVD基础上搞的湿法蚀刻。
各向异性的问题，早在八十年代美国人就解决了。
如今钟大华和吴牧想要走回头路，其实是挑了一条充满荆棘的小路在走。
想要参考、借鉴，可根本就没有先例可循。这样一来，难免让人有些心理打鼓了。
不过钟大华脸上根本看不出怀疑和忐忑，面对上千组实验需要的工作量，仿佛就像在说下班去哪里买菜一样。
“上千组实验？我看可不够！”
王中军摇了摇头，哼了一声：“这是你们计算配比和时间控制需要的实验数量，但是你想过没有，我们要的不是一根普通的针尖，而是一根50纳米宽的针尖！除了时间、配比以外，甚至一丁点微弱的空气流动，都能让你的实验结果出现偏差。除此之外，温度、湿度、空气杂质，这些还是能想到的干扰，真正做实验的时候，你会发现更多想都没想过的干扰源会出现……这些都必须一一排除，一千组实验你能保证出结果吗？”
“我保证……不了。”
钟大华的声音仍然没有起伏，冷静的说道：“但硅探针本来就没有先例，甚