到的,这光刻机可以被称为人类历史上发明出来的最精密的仪器之一,在三十年后,世界上能制造高尖端光刻机的工厂只有荷兰的一家公司,他们每年只生产十几台,每一台售价超过一亿美金,岛国的尼康也制造这种仪器,只是精确度比荷兰的那家公司要小一些,可即便这样,制造出的光刻机也是早被世界的那几家芯片巨头提前几年就预定了,中国想要买到最先进的光刻机要等到其他公司买完后才能得到,这个时间差就是西方发达国家压制中国的办法,就怕你把最先进的技术学去。
光刻机有多牛?
洪玉曾如一个“花痴”一样向刘琅介绍当时最先进光刻机的性能!
比如光刻机的光线能量、破坏性极高,制程的所有零件、材料,样样挑战人类工艺的极限,甚至因为空气分子的干扰都会影响光线,所以生产过程得在真空环境,而且,温湿度和压力变化还会影响对焦,所以在机器内部温度的变化要控制在千分之五度,得有合适的冷却方法,精准的测温传感器,更重要的是,需要精确度极高的镜头和光源。
有顶级的镜头和光源,没极致的机械精度,也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台,一个载底片,一个载胶片,两者需始终同步,误差在2纳米以下