。显影完成后通过旋转甩掉多余显影液,并用高纯水清洗后甩干。
坚膜,显影后的热烘叫做坚膜烘培,温度比软烘更高,目的是蒸发掉剩余的溶剂使光刻胶变硬,提高光刻胶对硅片表面的粘附性,这一步对光刻胶的稳固,对后续的刻蚀等过程非常关键。
坚模之后就是刻蚀了,这项工艺非常重要,是通过化学或物理的方法有选择地从硅片表面除去不需要材料的过程,通过刻蚀能在硅片上构建预想的电子器件。
最后就是去胶,是刻蚀完成后,通过特定溶剂,洗去硅片表面残余的光刻胶,此时一个小小的芯片基本就完成了!”
呈贤把这台光刻机的工作原理讲的非常清楚,让周明都有耳目一新的感觉。
“果然厉害,我们的刻纹机就没有这么多的结构,怪不得人家那么强大,在这些小小的细节方面我们就没法比呀!”
作为科学家,周明教授只认真理,人家美国强就是强,你不承认就是自欺欺人,不像有的人,人家比你强还不承认,这样的态度永远不会进步。
“海军小同志,你接触这套生产线时间最长,那你有如何改进的方法吗?”
周明看着王海军问道。
王海军一听脑袋