光刻机的制造需要数万个精密零部件。通常来说,一台光刻机的制造需要大约八万个精密零件,张扬重生前,最为先进的极紫外euv光刻机所需要的制造零件更是高达十万余个。
一套完整的光刻机包括多个组成系统,主要包括曝光系统、自动对准系统、整机软件系统等。
其中,曝光系统更是包含了照明系统和投影物镜。
在组成光科技的所有核心精密零件中,光学镜头、光学光源、双工作台又可以说是核心中的核心。
拥有高数值孔径的光学镜头是决定光刻机的分辨率和阈值误差能力。而分辨率和套值误差能力对于一台光刻机具有至关重要的重要性。而世界上最为先进的euv极紫外光刻机唯一可以使用的镜头就是由蔡司公司生产的镜头。
蔡司公司。
一家德g的公司。
作为涉及领域涵盖摄影、测量、显微镜、医疗、天象仪等等很多高精密领域的蔡司公司来说,光学镜片的发展历史始终都有蔡司的身影。可以说,蔡司的历史,就是一部光学的历史。
蔡司对光学镜片制造非常严格,哪怕是产品生产过程出现一丝一毫的偏差,产品都会直接被废弃。
在张扬的预想当中