的光刻机技术是不是被欧洲一家什么公司给垄断了?”,江辉插话道。
前世,光刻机的问题也曾经一度在互联网上吵的沸沸扬扬,江辉多多少少都听说过相关的一些信息,只不过记不住具体的详细内容了。
“是的,世界上最先进的光刻机厂家就是ASML,估计不用多久,是荷兰飞利浦公司的半导体部门拆分出来的独立公司,主要股东是飞利浦,但三星,台积电和英特尔都占有股份。”
“ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TINS系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TINS机型,例如英特尔,三星,台积电,中芯国际等”,朱正峰继续介绍道。
“除了目前致力于开发的TINS平台外,ASML还在积极与IMEbsp;IBM等半导体公司合作,开发下一代光刻技术,比如EUV(极紫外线光刻),用于关键尺度在22纳米甚至更低的集成电路制造。
同时,基于传统TINS平台的双重曝光等新兴技术,也在进一步成熟和研发过程当中。去年末三星宣布成功生产的36纳米闪存,基于的便是双重曝光技术。”