着自己，杨杰也是说出了自己的看法：“我们这次工程流片之所以会出现大批不能读写的次品，良品率极低，主要原因虽然有目前的0.18微米实验制程不成熟的原因，但再怎么不成熟，良品率也不能这么低。刚才我看了一下照片，真正搞出次品的原因是因为我们的埋入晶圆的栅极扩散层形态异常。”
会议室里徐工也是松了口气，这次负责攻关0.18微米制程工艺的负责人是他，他也是担心自己在技术路线上出现了重大问题。
“大家看这张电镜探伤图，左边是这次的良品，右边是这次的不合格品，左边正常形态下的埋入层扩散结构和右边的区别是很明显的，我知道大家现在一定在想，为什么会出现右边这些次品？问题出在哪呢？”
会议室里面很多技术人员也是踊跃发言。
“刚才这位黄海波判断的不错，这个情况确实跟我们扩散层离子注入工序有问题。”
这位被点到名的技术人员眼中露出惊喜的神色。
“那么我问你，这道工序到底出现了什么问题？”杨杰追问道。
这个技术人员却是回答不上来。
“杨少，难道是注入机的真空度问题？”徐少秋问道。
“不错