杨杰对于这个神光光源设施取得的作用还是非常满意的，而且通过这个项目的研发也是让华兴科技集团公司和中科院在极紫外光光刻机的光源系统技术产品上已经变得成熟了。
不过最难的是这种极紫外光具有破坏性，无法用玻璃透镜折射，必须要研制特殊的镀膜的反射透镜，虽然瑞星科技公司公司几年之前就造出了原理样机，但是实验中还是碰到了非常多的技术难题，而且不是光刻机设备造出来就行的，这个还需要光刻胶和掩膜等很多方面的支持，可以说是牵一发动全身。
现在中晶微已经掌握了32纳米的制程工艺，跟英特尔公司的制程工艺水平是相当的，不过最多还有三代制程工艺后就达到了氟化氩光源的极限了，而杨杰也是希望能够借助极紫外光光刻机顺利地将摩尔定律给进行下去。
所以杨杰也是让瑞星科技公司要在6年后顺利地推出极紫外光光刻机，实现量产，任务还是非常重的。
到现在为止，瑞星科技公司已经成为了光刻机领域的巨头公司，基本上已经占到了这个市场的百分之五十多，而艾斯摩尔公司则是占到了百分之三十多的市场份额。
这主要是鹰酱国内包括英特尔等芯片厂商以及南韩芯片厂商都是努力地扶