在极紫外光光刻机光源、镜头组以及工作台、掩膜、光刻胶等这些高精尖的配套部件上已经研发了多年，这套极紫外光光刻机的样机也是改进到了第二代。
中晶微现在在这极紫外光光刻工艺上研发了三年多，中间也是碰到了大量的问题，技术团队也是不断地进行改进，也是取得了不少的技术成果。
李舜臣见到中晶微已经在研发如此先进的制程工艺，而且这次也愿意拿出来向他们展示，那就证明这套工艺已经是取得了不小的进展，
“谭董，你们研发的这套极紫外光光刻机和光刻工艺虽然可以将制程工艺提升到更低的程度，不过造价想必也是非常贵吧？”
郭松林开口问道。
“我们在这方面研发投入确实是很大，不过等到这套技术成熟却是非常值得的。”
谭云松说道：“如果不研发新的光刻机，我们现有的光刻机光源的极限只能达到14纳米，而且制程工艺变得非常复杂，生产成本会支线上升，要想制程工艺不会停滞下来，只能用波长更短的极紫外光光刻机。”
李舜臣此时对杨杰说道：“杨先生，你们在技术研发上的这份坚持真是让我佩服不已呀！”
杨杰笑了笑，“我们集团公司就