90 年的 500nm 推进至 2016 年 10nm,再到8102年的台积电和三星实现量产的 7nm 产品。
这其中,汞灯的436nm(g 线)、405nm(h 线)和 365nm(i 线),准分子激光248nm都指的是光刻机用来光刻的曝光光源。
1971年Intel 公司推出的10微米全球第一款4004微处理器,再到1980年2微米工艺的256Kb DRAM,1984年1微米工艺的1Mb DRAM,再到1991年此时即将问世的0.35微米工艺的64Mb DRAM ……10微米到0.35微米,指的是通过光刻机光刻等工艺,在芯片内部中,晶体管之间或者线最小可以做到的距离。
微米和纳米的概念,到底有多宽或者多细,大家可以体会一下:
1毫米(mm)等于1000微米(μm),一微米(mm)等于1000纳米(nm)。
而成年男性的头发直径一般在40到80微米之间,女性的头发直径则一般在20微米到40微米之间,小孩子的头发则是40微米左右。
也就是说,此时工艺为1微米的芯片中,晶