一样,分层堆叠在晶圆上。每道制程中的量产规格,包括量测数据和相关制程参数设定,是采购和验收设备的标准,也是每一家芯片大厂商的专利及核心技术的组成部分,而制程技术的实现则是需要通过购买的实现。
而此时的香积电已经基本掌握1.2微米芯片大规模制造工艺工序流程,包括其中的核心技术以及专利。
正在参观光刻区域跟随参观的余子贤,却突然被穿着洁净服的人拦住,余子贤定眼一看,却发现是程渡。
“余总,佟若愚从曰本打来电话,现在遇到了一些麻烦!”
“麻烦?什么麻烦?”此时的香积电生产线改造以及接近尾声,目前剩下的主要工作就是对设备的最后调试。
因为有大量厂家技术员的帮忙联合调试设备,余子贤现在很有信心,在生产线启动就可以实现30%的良率。
尤其是ASML派遣了好几个专家级的设备工程师到厂指导,甚至派了一个光刻工艺工程师常驻香积电,就为了香积电光刻厂区以及设备的正常投运。
光刻是整个集成电路制造过程中耗时最长、难度最大的工艺,耗时占芯片制造50%左右,成本约占芯片生产成本的1/3。
所以,此时A