海棠书屋 > 网游小说 > 芯片的战争 > 正文 第184章 缠她身子啊
    以半导体光刻胶为例,在光刻工艺中,光刻胶被均匀涂布在衬底上,经过曝光(改变光刻胶溶解度)、显影(利用显影液溶解改性后光刻胶的可溶部分)与刻蚀等工艺,将掩膜版上的图形转移到衬底上,形成与掩膜版完全对应的几何图形。

    光刻技术随着芯片集成度的提升而不断发展。为了满足集成电路对密度和集成度水平的更高要求,半导体用光刻胶通过不断缩短曝光波长以提高极限分辨率。

    世界芯片工艺水平此时已跨入微纳米级别纳,光刻胶的波长由紫外宽谱逐步至g线(436nm)、i线(365nm)。目前,半导体市场上主要使用的光刻胶包括  g  线、i  线两类光刻胶,而光刻胶核心技术基本被曰本和美国企业所垄断。

    光刻胶不仅具有纯度要求高、工艺复杂等特征,还需要相应光刻机与之配对调试。一般情况下,一个芯片在制造过程中需要进行10~50道光刻过程,由于基板不同、分辨率要求不同、蚀刻方式不同等,不同的光刻过程对光刻胶的具体要求也不一样,即使类似的光刻过程,不同的厂商也会有不同的要求。

    针对不同应用需求,光刻胶的品种非常多,这些差异主要通过调整光刻胶的配方来实现。因此,通


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