这些凸起粒子的凸起量，我们就可以用离子束轰击这些凸起的粒子，然后将我们的镜片给‘敲’平。”
“这样一来，我们的镜片就能变得无比地平整起来。”
听到林晓的想法，罗刚宪便忍不住说道：“这……这应该做不到吧？激光干涉仪得到的表面的粗糙度数据，我们只能进行统计，但是还无法具体去判断要怎么用离子束去轰击啊！而且，硅原子半径都经到100多皮米了，直径等于两百多皮米，而我们需要的是100皮米以下的级别，如果是离子轰击，直接把表面原子给轰击掉了，留下的可能就是一个一百多皮米的坑，这样还是达不到光刻机镜片的要求！”
林晓说的确实是一个很好的方法，但这是从理论上来说，他作为专业的，心中完全不相信这一点能够做到。
林晓只是笑了笑，说道：“我可没有说要把这些凸起的粒子给轰掉啊，罗院士。”
“我说的是‘敲平’！”
“我们只需要就算好轰击角，控制住水平和垂直上的分力，我们完全可以实现其表面的平坦化。”
“而且，我们所谓的原子半径，其实只是原子轨道半径而已，在受力范围上，它们可不是一个球，用离子束去轰击，也只是他们之间