而对其进行放大和缩小,进而利用这种方法来进行大规模光刻。
当然,这是一种说出去别人可能都会觉得不可思议的事情。
x光在光刻机中的优点,首先就在于其几乎没有衍射效应,准直性很好,而其他的光就比较容易发生衍射,哪怕是稍稍有一颗氧气分子飘过,其他的光线在经过的时候,比如穿过这氧气分子的两颗氧原子中间时,就会因为发生单缝衍射这类似的情况,导致衍射效应的出现,最终影响到实际光刻的图案。
这也是为什么光刻机内部必须保持真空。
所以要不是x光不能被透镜所反射,euv光什么的,压根就不在考虑中了。
这也是为什么说衍射是光刻机的天敌。
而现在林晓的思路却是反其道而行,他反而要去利用衍射效应,来实现自己的目的。
当然,他所要做的是,控制衍射。
那么,现在就出现了一个问题。
“想要控制衍射,就必须知道为什么会发生衍射!以及,衍射的规律是怎样的。”
林晓目光微微一闪。
现在的物理学家,仍然只能通过实验来得到一些衍射规律,比如单缝衍射、双缝衍射、圆孔衍射等等。