正文 第二百七十九章 计划完成时间：十月(2/10)

    看着林晓此时正在画的图，那一线一圆之间，俨然又是一个新的机械机构冒了出来。

    在场的人都不由期待起来，这一次，林晓画的是什么？

    于是他们都屏住了呼吸，等待着林晓将最终结果画出来。

    就这样，时间慢慢过去，这第二张工图上的东西，逐渐清晰了起来，陈元春看了一眼，这个应该是双工作台的底座部分。

    双工作台，自然是两个工作台，以前的光刻机只有一个工作台，这个工作台需要先在各种传感器上接受前期扫描工作，确保位置对准之后，然后才能到光源下进行曝光，这种效率比较低下，而双工作台技术就是曝光和扫描同时进行，一个晶圆在一个工作台上进行光刻的同时，另外一个晶圆则在第二个工作台上进行扫描，然后第一个晶圆光刻完成，第二个晶圆也扫描完成后，两者就对调位置，一个继续曝光，一个继续扫描新的晶圆。

    这种方式极大地节省了时间，提高了光刻机的效率，所以其对于光刻机来说，可以说是必不可少的结构之一。

    而这个双工作台的底座部分，就更加重要了，因为双工作台采用的是磁悬浮方式进行移动的，磁悬浮的方式足够稳定，也能够避免摩擦过多造成磨损等问