“我不知道你们对半导体工艺具体了解多少,在这里我就直接来解释了。”左为民指着一堆外界看不到的白色仪器说道:“这里做的是硅片清洁工作。”
所谓光刻,具体可以分为七个步骤,其中包含四次处理,三次烘焙。
第一步是硅片表面预处理,首先对基底表面进行清洁工作,使用超纯水再次对基底表面进行冲洗,彻底清除吸附在硅片表面的其它化学物质,以及上一道工序中的残留物和金属离子。
当然预处理不仅是清洁,还需要使用HMDS(六甲基二硅胺烷)对整张硅片进行熏蒸,对它进行一道整体的脱水工作,将硅表面的亲水羟基替换为疏水基,就像镀了一层油膜一般。
这一步也被称为增黏处理,以保证光刻胶能在硅片表面均匀涂布。
第二步就是旋转涂胶了,首先将硅片架在旋转的机械结构上,在硅片中心滴入光刻胶,通过高速旋转,使用离心力将光刻胶均匀摊布在硅片表面上,可以想象成摊煎饼果子那种感觉,而这也是硅片为什么要做成圆形的根本原因。
这一步的难点在于旋转机械结构上,首先通过高速转动彻底将光刻胶摊开,接下来再是通过低速旋转稳定光刻胶的整体厚度,以保证不会因为