正文 第160章 要超越世界吗？（求月票）(6/8)

    这一过程每秒得要轰击5万个液滴，而一个金属锡液滴就只有20微米大小，相当于从地球发出的手电筒光线要精准地射到一块在月球上的硬币一样难。

    而euv光刻机里面的反光镜，是由德国蔡司制造的，只反射13.5nm的光，一共有40层，每一层的外表都非常平整。

    但由于euv的光很容易被空气吸收，每一次反射都会损失掉30%的光强，一顿操作下来，最后就只剩下2%的光强，所以euv光刻机可以说是耗电猛兽。

    euv光刻机除了耗电还很耗水，因为轰击金属锡液滴会释放能量，所以每秒钟得有4000升的水来进行冷却，而厂房环境也很严格，每小时得要净化30万立方米的空气。

    就以上几点，就可以感觉到造euv光刻机究竟有多难。

    但江凡的技术资料里却对这一块做了改进，通过把光源空间做成真空离子态，减少了过程中光源的损耗，一方面节约金属锡等材料和耗电量，另一方面受离子态影响每一次可以一定程度降低光的波长，从而更快获得更短波长的光，降低了难度的同时也获得了更好的精度。

    而在冷却体系上也在水中加入了复合液体，使其冷却效果更好，从而又提升