很顺利的。
华兴科技集团公司从一开始就开始玩半导体激光，一开始从激光读写头开始玩起，后来开始玩半导体激光光源波长最短的氮化镓激光光源，并且利用国内在非线性光学晶体材料上的绝对技术优势玩激光倍频技术，瑞星科技公司公司自然在光刻机光源系统上能得到最好的技术成果。
光刻机是用来干活的，客户有着强烈的产能的需求，在相同的曝光量下，光源的功率越高，曝光需要的时间越少，这样单位时间里面产能越高。
再加上要得到这样高功率的极紫外光，需要功耗极大的激光器，电能转化为激光时也是变为了热量损耗掉了一大部分，其次修正光的前进方向时，每一次反射仍会损失3成能量，经过十几面反射镜，将光从光源一路导到晶圆，最后大概只能剩下不到2%的光线。
被吸收的能量必须要用大功率散热系统进行冷却，而激光器本身工作时候会产生很大的热量，也是需要一套优良的散热冷却系统，才能保证机器正常工作，可以说是不折不扣的耗能大户。
不夸张的说，现在华兴科技集团公司在半导体激光技术领域成了全世界绝对的技术霸主。
这之前三阳光学公司研制出可以长时间经受住极紫外光光