掌握了大量的技术专利，这个也成了瑞星科技公司杀手锏一般的武器。
而瑞星科技公司在这个基础上也是不断地在其他关键系统上进行研发，尤其是在双工件台系统上进步非常快，这个也是得益于华兴科技集团公司自己本身在超精密数控机床技术上进展非常快，不仅做出了满足90纳米光刻需要的工件台，针对28至65纳米光刻配套的双工件台也也是搞了出来，现在连28纳米到10纳米光刻机配套的双工件台也是研制出来，并且进行了大量的测试验证。
经过这么几轮产品的技术迭代，瑞星科技公司公司的光刻机其实在05年到07年间推出的产品整体性能就全面上来了。
尤其是这几年华兴科技集团公司的众多的技术成果开始涌现，再次将瑞星科技公司的产品技术推到了一个更高的高度。
瑞星科技公司公司现在光刻机产品线也是十分丰富，低端的产品主要还是以i线光刻光源为主，用来加工非关键性和比较大的电路结构，也能为45纳米量产提供精确的套刻，主要用来加工存储芯片、图像传感器、微机械芯片等大量芯片。
中高端光刻机产品主要是以氟化氪和氟化氩光源设备为主，这些设备主要是用来用来制造最小和中等尺寸的