芯片电路结构，这种更短的波长能刻印40以下的纳米电路结构。
一般而言，芯片的掩模层数最多达30或40层，因此中晶微在内的这些芯片制造商生产芯片时，通常会同时用到这三种设备。
氟化氪和氟化氩光源是瑞星科技公司向科学院光电研究院进行订购的，双方之间的合作很早就开始了，到现在科学院光电研究院已经能够批量生产高性能的这两种光源。
而在极紫外光光源上瑞星科技公司还是自行研制设计为主，到现在也是终于将这套光源给搞定了。
瑞星科技公司公司在国内挑选产品子系统供应商主要还是以国内的这些科研研所和高校的课题实验室为主，甚至主动地向这些科研院所提供设备和资金的支持来进行扶持。
因为杨杰本人在科技界有着雄厚的人脉资本，再加上罗秉桓和李开元以及李力持和薛岳东等中央首长的支持，这些项目也是推动很快，差不多用了六七年时间就完全弄出了一套完整的产业链。
等到国外的这些半导体设备产商回过神来的时候瑞星科技公司已经是成了气候，进入了光刻机市场领域的第二梯队，能够自行设计研制生产出光刻机，也是跟艾斯摩尔和康尼和农佳集团公司在这个细分市场展