的痛!现在是,三十年后依旧是!
在光刻机领域市场占有率方面,此时恰恰和29年后的形势完全相反:日本双雄——尼康和佳能完全处于大佬级垄断地位,占据了80%以上的市场,而此时的ASML还只是弟弟——大约只有10%的市场占有率。
而早期在1978年,推出第一台真正现代意义的自动化步进式光刻机(Stepper)的美国GCA公司已经接近破产的存在!
70年代初,光刻机技术更多集中在如何保证十个甚至更多个掩膜版精准地套刻在一起。而拿到美国军方投资的Perkin Elmer公司率先推出了投影式光刻系统,搭配正性光刻胶非常好用而且良率颇高,因此迅速占领了市场。
只是因为掩膜和光刻胶多次碰到一起太容易污染,导致没过多久接触式机台后来被接近式机台所淘汰。
在1978年,美国GCA公司推出真正现代意义的自动化步进式光刻机(Stepper),分辨率比投影式高5倍达到1微米。虽然由于刚开始Stepper生产效率相对较低,Perkin Elmer在后面很长一段时间仍处于主导地位。
但是进入80年代,在尼康发售了拥有更先进的光学