系统可以极大提高产能的首台商用Stepper NSR-1010G之后,Stepper和Perkin Elmer两家美国厂商光刻机就一起被严重挤压,从80年初超过3成快速跌到84年不到5%。
这时候,由荷兰ASM Iional和飞利浦50:50合资设立的ASML公司,才于1984年4月1日成立,员工更是只有31名,就在荷兰飞利浦大厦外面的木板简易房里办公,属于可有可无的角色。
期起初只是靠着飞利浦大树苟活的ASML,在头一年只卖出一台自己研发的stepper光刻机,第二年卖出四台……但是背靠飞利浦大树的各种资源和容忍,恁是让它生存了下来,进而推出了PAS-2500步进式光刻机。这些,仅仅是让ASML建立了一点点名气。
至于ASML比较成功的、更为先进的PAS5500步进式要等到明年才会推出……
而此时,美国光刻机公司SVG、Ultratech等,在有日本各大财团支持的半导体企业的资助下大放光彩的尼康和佳能更先进技术的打压下,已经被彻底边缘化,处于破产被收买的边缘……
所以余子贤在要买先进的光刻机面前,只有三个选择