等设备的报价上相比其他厂家的采购价要高个10-20%，但是至少算是可以接受的价格。尽管此时除了光刻机的其他设备厂家报价已经超过了900万美金的价格。
现在，香积电的采购任务卡在了光刻机上……
“余总，我们目前正在和尼康、佳能作进一步接触，竟可能的得到他们给我们超高报价的原因和细节……”
“嗯，好的，辛苦你们了。”
曹飞又走了。
现在余子贤真的很头疼，尼康和佳能万一真的一口咬定不降价怎么办？难道真的要找这个时候的ASML？不知道ASML他们生产的光刻机和此时其他日厂的生产的那些离子注入机等设备配套性怎么样？
目前，在光刻机的研发和制造能够跟上主流节奏就是尼康、佳能和ASML。
1982年，在IBM的Kanti Jain开创性的提出了“excimer ser lithography（准分子激光光刻）”之后，准分子激光光刻机器（步进和扫描仪）在全球集成电路生产中得到广泛使用。
现在芯片制造中的最小特征尺寸是0.5微米（200nm）。而在其关键作用的就是达到这个最小特征尺寸光刻