机的制造。
其中光刻机的制造有两道难关:
第一道难关是光刻机的曝光光学系统,由数枚镜片串联组成;而此时ASML镜头组由光学仪器公司德国蔡司独家生产,至于尼康和佳能,自身就是光学镜片的生产厂家。
第二道难关是光刻机的激光光源。光刻用准分子激光器光源需要窄线宽、大能量和高脉冲频率,这些参数互相矛盾,研制难度极大。光源制造商Cymer是一家美国公司,其余的制造商是东芝和松下等曰本公司。
所以,这些光刻机关键的基础设计研究都被掌握在日美欧厂家的手里。
后世,流传一个非常经典的故事——“同样一个镜片,不同工人去磨,光洁度相差十倍。而德国蔡司抛光镜片的工人,祖孙三代在同一家公司的同一个职位。”
余子贤想自己制造真的很难!关键时候,被卡脖子也就是美国人的一句话!半残男——曰本和德DE国就得乖乖听话。
实在不行就去再去找ASML试一试。尼康一台光刻机1000万美金的报价,而且还是好几年前的技术标准……这个要价实在太狠!
“月姐,苏联那边的‘雪球计划’进展怎么样了?”
余子贤现在