圆。而切割出来的晶圆直径则决定了这些晶圆需要应用与之匹配的晶圆厂去。一般我们说的几寸的晶圆厂,就指的是硅晶圆的直径。
晶圆面积越大,在制造同一工艺标准的芯片时,可以切出越多的芯片,也就代表著这座晶圆厂的技术约好。
而目前晶圆尺寸已经经过了2英寸(50mm)到3英寸(76mm)、4英寸(101mm,通常称为100mm晶圆)、6英寸(150mm)的技术发展,甚至8英寸(200mm)的技术也在实验室条件下实现工艺贯通。
1991年的当前,已经实现商业化生产的当属6英寸晶圆(1989年开始商业化),而更为先进的8英寸工艺还在实验室,按照历史发展,要到明年才会投入商业生产运行。
目前香积电的4英寸晶圆工艺,是发展于八十年代初的工艺,此时已经有些落后。但是,在余子贤的能力范围之内,这是能够搞到的最先进的工艺了。
与“大晶圆”不同,晶体管与导线的尺寸缩小也就是线宽则是越小越好,也就是俗称的“小线程”。随着芯片技术的进步,电路线宽越来越小,直达微米以下纳米级数。
“大晶圆”和“小线程”这两种方式都可以在一片晶圆上,制作