出更多的硅晶粒,提高品质与降低成本。
是不是感觉很复杂?但到这一步,还不够刻印半个电路!
不过,像香积电这样的芯片制造厂,只需要负责“小线程”就行了。因为“大晶圆”一般直接由曰本信越、美国应用材料等公司直接垄断供应。
你只需要按照自己生产线对应的晶圆尺寸想这些晶圆材料供应厂家下单就行了,他们会送货上门。
取得晶圆之后,在它上面镀一层导电薄膜,再涂布一层感光剂。然后,将电路底片放在上面,并进行曝光,电路部分进行显影反应。随后,用化学试剂冲掉没有反应的感光层,便能够在晶圆导电薄膜蚀刻出一条条电路。
电路底片,业内称为掩模板(俗称光罩);当然,芯片电路复杂,可能包含数以千万计的晶体管,即使把掩模板造成一张桌子那么大,再缩影到小小的芯片上,单单一个掩模板也亦未必能一次投影好。因此,加工过程中要将电路设计分成多个掩模板,重复上面的流程,直至蚀刻完成为止。
而这光刻程序中其中用到合成甲酚醛树脂、合成感光(层)剂、配胶等等都是光刻胶的三大成分。
光刻完成之后就是离子注入。在硅晶圆制造过程中不同位置加入不